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LR90

愛發(fā)科LR90是日本ULVAC公司生產(chǎn)的多級羅茨干式真空泵，具有高抽速、低功耗、耐腐蝕性強等特點，廣泛應用于半導體、平板顯示器、光伏等高科技領域。

核心技術特點

  • 干式設計：泵腔內(nèi)無需潤滑油，避免油污染，適用于潔凈度要求高的工藝。

  • 高抽速：50Hz時有效抽速為112m3/h（1860L/min），60Hz時為126m3/h（2100L/min）。

  • 低功耗：電機功率720W，功耗低，節(jié)能環(huán)保。

  • 耐腐蝕性：主要部件采用特殊表面處理，提高耐腐蝕性。

  • 無滑動部件：減少磨損，延長使用壽命。

  • 瞬停功能：1000毫秒內(nèi)實現(xiàn)瞬時停止，提高生產(chǎn)效率


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