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PRC-012A

愛發(fā)科PRC-012A是一款專為高潔凈度要求應(yīng)用設(shè)計(jì)的機(jī)械增壓泵，適用于半導(dǎo)體和液晶制造等工藝。以下是其主要特點(diǎn)：

  • 無(wú)油設(shè)計(jì)：泵腔內(nèi)無(wú)潤(rùn)滑油，避免油污染，適用于水蒸氣、溶劑等蒸汽環(huán)境。

  • 高耐腐蝕性：關(guān)鍵部件采用陽(yáng)極氧化處理，提高表面硬度和耐腐蝕性，減少內(nèi)部損傷。

  • 高效排氣：可與粗抽泵同步啟動(dòng)，縮短排氣時(shí)間，提高抽氣效率。

  • 密封電機(jī)：采用屏蔽電機(jī)，無(wú)需機(jī)械密封，防止漏油，適用于清潔環(huán)境


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