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東莞東歐真空設(shè)備有限公司
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SDE120

卡西亞瑪SDE120真空泵是日本卡西亞瑪公司生產(chǎn)的高性能干式真空泵，具有以下特點(diǎn)：

核心技術(shù)特性

  • 無油干式技術(shù)：通過精密嚙合的螺桿式/爪式轉(zhuǎn)子實(shí)現(xiàn)氣體壓縮，全程無潤滑油，避免油蒸氣污染，適合晶圓加工等敏感工藝。

  • 耐腐蝕設(shè)計(jì)：轉(zhuǎn)子與腔體采用不銹鋼鍍層或陶瓷涂層，耐受酸性氣體（如HCl、Cl?）和顆粒物。

  • 節(jié)能高效：配備變頻驅(qū)動（VFD）調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，能耗比油封泵降低30%～50%。

  • 智能控制與監(jiān)控：實(shí)時顯示真空度、溫度、功耗等數(shù)據(jù)，支持遠(yuǎn)程接口（Modbus/以太網(wǎng)）；自診斷系統(tǒng)可預(yù)警異常并自動停機(jī)保護(hù)。

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